技術(shù)概覽

微型MEMS芯片設(shè)計(jì)，與中國科學(xué)院物理研究所和華中科技大學(xué)合作，共同完成MEMS芯片的研制工作。

流片成功率：>40%；溫度測量精度：<1℃；加熱功耗：<50mW；升溫降溫迅速：≈200℃/秒；響應(yīng)速度：<7s；靈敏度：<10mg/m3，無交叉敏感性；防護(hù)等級：IP65封裝；封裝尺寸：≤5×5cm。